产品概要
采用静电容方式技术测量，实现非接触精密变位测量。可应用变位、振动、形状、位置检出等广泛领域测量。本产品追求精度和成本效果开发，是泛用性变位计。还有，考虑地球环境的影响，任何产品都采用无铅·RoHS2指令。PS-IA采用案例广泛，相关大学研设备、电子仪器、半导体组装设备。对精密测试有长期经验。
本产品由于输出贸易管理规定有可能不能销售，请事先谅解。
传感探头定制例
可做其他非标传感探头。请联系给现地相关负责部门。
特点
在DC 24 V或AC 100 V下工作，附有输出零复位功能，NEAR/FAR LED显示器，BNC模拟输出的单通道放大器。结构小型且具有全功能，可以使用在从研究开发到各种内置设备等各方面的应用。
- 阵容广泛的标准测量量程30 μm ～ 5000 μm
- 如果是导体,材质不影响灵敏度的变化
- 不受表面粗糙度的影响
- 直线性精度很：±0.05％ 以下
- 低干扰：0.002％/FS（rms） 以下
应用案例
测量原理
如右图所示，PS传感器，利用平板电容器的原理。
C为极板之间的电容、ε为探针与对电极之间的诱导率、g为距离、A为中心电极板的面积。这些关系可表达如下计算式。
如下图所示，通过交流恒流源驱动时，输出电压为：
输出和测定空隙有比例关系。
PS传感器，在防护电极与中心电极具有相同电位下进行驱动时，通过中心电极部分建立并行电场，获得高的直线性。
技术参数
■ 放大器技术参数
具有用单键的操作使输出为零的复位功能，NEAR/FAR LED显示器，多通道动作功能等，通过一台可以应用于各种各样的用途。
| 型式 | PS-IA |
|---|---|
| 标准输出电压范围 | 0 ～ 10 V |
| 输出终端 | BNC连接器 |
| 频率特性 | DC ～ 1 kHz |
| 使用温度范围 | +10 ～ +40℃ |
| 电源 | DC 24 V, 0.5 A 或AC 100 ~ 240 V(±10%)（使用附属的AC适配器） |
| 外形尺寸 | 110W×30H×162D mm |
| 重量 | 355 g（仅本机） |
■ 标准探头技术参数
因探头内部不含电子电路，可使探头结构紧凑。真空对应等，也可对应特别订货。
| 型式 | 外径（mm） | 支距（μm） | 量程（μm） | 分辨率（nmrms） | 直线性（%） | 探头长度（mm） | 电缆长度（m） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| △X□□-30 | 4 | 10 | 30 | 0.6 | ±0.05 |
5 10 30 |
2（标准） |
| △X□□-50 | 10 | 50 | 1 | ||||
| △X□□-100 | 10 | 100 | 2 | ||||
| △Y□□-50 | 6 | 10 | 50 | 1 | |||
| △Y□□-100 | 10 | 100 | 2 | ||||
| △Y□□-250 | 25 | 250 | 5 | ||||
| △Y□□-500 | 50 | 500 | 10 | ±0.1 | |||
| △Z□□-500 | 12 | 50 | 500 | 10 | ±0.05 |
10 30 |
|
| △Z□□-1000 | 100 | 1000 | 20 | ±0.1 | |||
| △T□□-3000 | 30 | 300 | 3000 | 60 | ±0.05 |
15 30 |
|
| △T□□-5000 | 500 | 5000 | 100 | ±0.2 |
型号的△符号为传感器输出线位置选型，□□符号为探头长度（mm）选型
关于LED、荧光、液晶等相关显示部分，因制造工程以及材质等原因，也许会发生微妙差别。请了解，谢谢。
