正確な測定のために軸振れをチェックしましょう!

 

 

トルク試験で測定値が振れている。軸が振れているのかなぁ・・・

  • どこが振れているか知りたい
  • 値の振れの要因をすぐ突き止めたい
  • バランス取りした後、軸の挙動を確認したい
  • いろんな方向の振れを同時に見たい

 

原因を探すのは、面倒だし時間がかかるなぁ・・・

その問題、非接触センサで解決できます!

使い方は簡単 !!

  • 回転軸に非接触センサをセットするだけ!
  • 非接触なので高速回転でもOK ・校正やゲイン調整は不要!
  • ターゲットが導体であれば表面の粗さや色は影響しません!
  • 5kHzの応答性で高速な振れも逃しません!
  • 複数セットすれば多チャンネルを同期して測定可能

動画をチェック!


★ユニパルスの非接触変位センサ

非接触でセンサ端面からターゲットの距離を測定します。

静電容量を利用しているため、ターゲットが導体であれば測定できます。

高精度で高安定なのが特徴です。

国内製造で、現場に合わせたプローブの専用設計が可能です。

 

非接触変位計の詳細はこちら

★以下のアプリケーションに最適

回転体の軸振れ測定

センサを2台用いてX軸、Y軸の回転体の軸振れを測定できます!

高精度な位置制御

ステージの高精度で高速な位置制御を可能にします!


ディスクの平面度測定

非接触なのでデリケートなディスクの平面度を安全に測定できます!

すきま測定

プローブは現場に合わせて設計可能で、隙間測定もできます!


静電容量型変位計によるフィルムの厚み測定の原理と応用

★性能


・分解能   0.6nm rms (プローブにより異なります)

・応答性   5kHz (PS-IAは1kHz)

・直線性   ±0.05%

・測定レンジ 最大5mm

・真空対応可能

・ターゲットが導体であれば感度が変わらないためゲイン調整は不要です

・ターゲット表面の粗さや、色の影響を受けません

 

★シンプルな電圧出力で組込に最適「PS-IA」

センサとターゲットの距離に応じで電圧出力(0~10V)する専用のアンプです。

プローブは1ch接続可能で組込に最適です。

特注で出力電圧を変更したり、多チャンネルにも対応できます。

★2chを簡単に同期計測「UMA-500」

非接触センサを2チャンネル同時に測定が行えるようにした2チャンネルポータブル

モーションアナライザUMA-500です。

静電容量変位計2チャンネルを同時に測定して各種演算を行い、数値を表示するだけ

でなくグラフなどにより可視化できます。

またホールド機能や、SDカードへのデータ保存など豊富な機能を搭載しています。

 

 

モニタ画面

2ch同時に変位を表示

波形画面

2ch同時に振動を表示

リサージュ画面

回転中の同芯度を確認

FFT画面

振動モードを確認


★こんな所にも使えます

・顕微鏡のオートフォーカス


 

画像処理によるオートフォーカスではなく、カメラの焦点距離を基準にした素早い制御が可能です。

カメラレンズ先端にリング形状のプローブをつけワークとの距離を測定します。

プレートの反りや段差があっても焦点を合わせ続けることが可能です。

 

★ワークは導体である必要があります★

・ピエゾステージの微小変位、振動を測定

 

ピエゾステージの微小(2nm~3nm)な変位を測定できます。

ピエゾステージやエアステージでは難しい微小な位置制御を可能にします。

応答性が5kHzなので高速な制御も可能です。

 


・狭い隙間を正確に測定 (隙間測定仕様:UMA-500-GAP)

 

従来隙間の測定は、厚みがわかっている板を数枚用意しておいて、こっちの板は入るけどこっちの板は入らないから隙間はこの間の値である、という隙間ゲージを使って測定する方法が一般的です。しかし、隙間ゲージでワークを傷つける可能性もありますし、入り口が狭くて奥が広くなっている隙間を測定することはできません。

この隙間プローブを使えば、隙間を0.01μmの分解能で定量的に測定することができます。隙間プローブは長さ200mmで目盛りが刻んであるので、何mm奥の隙間を測定しているかも簡単にわかります。

 

 

★さまざまな環境に合わせたプローブ

 

磁力のある場所に対応したプローブです。

 

フランジ型のプローブです。

プローブ径が大きいため広いレンジを測定できます。

貫通穴が開いていますので、取付けが容易です。

 

 

フランジ型のプローブです。

プローブ径が小さいため高精度の測定が可能です。

貫通穴が開いていますので、取付けが容易です。

 

 

基板型のプローブです。

PCB基板ですので薄型にできます。

リング形状も可能で真ん中をよけて測定できます。

 


 

ネジ形状のプローブです。

ネジだけで固定ができますので取付けが楽になります。

 

 

隙間測定タイプのプローブです。

厚みが0.8mmのフレキ基板ですので、狭い隙間に入れられます。

また、柔軟性があり隙間の中に段差があっても、ある程度乗り越えられます。

 

 

先が極細タイプのプローブです。

スポット(点)での測定が可能になります。

 


非接触変位センサの製品情報
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