分解能0.6nmという驚異的な高精度を実現した、ユニパルスの静電容量方式非接触変位計をご紹介します。
対象が導体であれば材質による感度変化がなく、表面粗さの影響も受けません。 精密ステージの位置決めや隙間・厚み・平面度の測定に最適です。
さらに、2チャンネルポータブルモーション モーションアナライザ「UMA-500-R」なら、2つの測定プローブを使って、2カ所の変位を同時に測定し可視化できます。回転体のランナウト測定や振動モードの特定など、2カ所同時測定によって多くの知見が得られます。
更に、2つの変位の演算値の表示やグラフ化、FFTやリサージュ解析、SDカードへのデータ記録、判定結果の接点出力などができる、物体の微小運動や振動解析ツールの決定版です。
★ 2つのセンサの値を同時に表示
★ 2つのセンサの値の演算値を表示
★ FFTやリサージュ解析
★ データ記録
全てこれ1台で完結します! 今回はUMA-500-Rを使用した、測定の例をご紹介します。
■すきま測定
静電容量方式の非接触変位計は、以下の条件のすきま測定にピッタリです。
■厚み測定
静電容量方式の非接触変位計は、以下の条件の厚み測定にピッタリです。
■回転体の軸振れ測定(真円度の確認)
静電容量方式の非接触変位計は、以下の条件の軸振れ測定にピッタリです。