驚異的な高精度! 静電容量方式非接触変位計「UMA-500-R」

 

 

分解能0.6nmという驚異的な高精度を実現した、ユニパルスの静電容量方式非接触変位計をご紹介します。

 

対象が導体であれば材質による感度変化がなく、表面粗さの影響も受けません。 精密ステージの位置決めや隙間・厚み・平面度の測定に最適です。

さらに、2チャンネルポータブルモーション モーションアナライザ「UMA-500-R」なら、2つの測定プローブを使って、2カ所の変位を同時に測定し可視化できます。回転体のランナウト測定や振動モードの特定など、2カ所同時測定によって多くの知見が得られます。

更に、2つの変位の演算値の表示やグラフ化、FFTやリサージュ解析、SDカードへのデータ記録、判定結果の接点出力などができる、物体の微小運動や振動解析ツールの決定版です。

 

★ 2つのセンサの値を同時に表示

★ 2つのセンサの値の演算値を表示

★ FFTやリサージュ解析

★ データ記録

 

全てこれ1台で完結します! 今回はUMA-500-Rを使用した、測定の例をご紹介します。

 

 

■すきま測定

 

静電容量方式の非接触変位計は、以下の条件のすきま測定にピッタリです。

  • 丁度いいサイズのすきまゲージがない
  • すきまの内側をキズつけたくない
  • 幅が均等ではないすきま
  • 入口が狭く、中が広がっているすきま

 

 

■厚み測定

 

静電容量方式の非接触変位計は、以下の条件の厚み測定にピッタリです。

  • コンベアで流れてくる薄板の厚みを瞬時に測定したい
  • 接触式はワークをキズつける可能性がある
  • 測定器の調整なしで測りたい
  • レーザーで計測すると、ワーク表面の粗さや色のせいで毎回値が違う

 

■回転体の軸振れ測定(真円度の確認)

 

静電容量方式の非接触変位計は、以下の条件の軸振れ測定にピッタリです。

  • 回転中の軸振れを非接触で測定したい
  • 値の振れの要因を突き止めたい
  • バランス調整後、軸の挙動を確認したい
  • いろんな方向の振れを同時に見たい

 


非接触変位計 製品ラインアップ
静電容量型変位計によるフィルムの厚み測定の原理と応用
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