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產品概要

採用電容方式技術測量，實現非接觸精密變位測量。可應用變位、振動、形狀、位置檢出等廣泛領域測量。本產品追求精度和成本效果開發，是泛用性變位計。
還有，考慮地球環境的影響，任何產品都採用無鉛·RoHS2指令。
PS-IA採用案例廣泛，相關大學研設備、電子儀器、半導體組裝設備。對精密測試有長期經驗。
本產品由於輸出貿易管理規定有可能不能銷售，請事先諒解。
感測探頭訂製例

可做其他非標感測探頭。請聯繫給現地相關負責部門。
特點

在DC 24 V或AC 100 V下工作，附有輸出零復位功能，NEAR/FAR LED顯示器，BNC模擬輸出的單通道放大器。結構小型且具有全功能，可以使用在從研究開發到各種內置設備等各方面的應用。

  • 陣容廣泛的標準測量量程30 μm ～ 5000μm
  • 如果是導體,材質不影響靈敏度的變化
  • 不受表面粗糙度的影響
  • 直線性精度很：±0.05％ 以下
  • 低干擾：0.002％/FS（rms） 以下
應用案例

測量原理

如下圖所示，PS感測器，利用平板電容器的原理。
C為極板之間的電容、ε為探針與對電極之間的誘導率、g為距離、A為中心電極板的面積。這些關係可表達如下計算式。

如下圖所示，通過交流恒流源驅動時，輸出電壓為：

輸出和測定空隙有比例關係。

PS感測器，在防護電極與中心電極具有相同電位下進行驅動時，通過中心電極部分建立並行電場，獲得高的直線性。