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製品概要

高速変位測定の決定版! 差動型光ファイバー変位計!
プローブを測定箇所に近づけるだけで、高速微小変位の測定が可能です。
面倒なワークの反射率の補正は不要です。

プラグインモジュールATP203が新登場!応答性と分解能がさらにUPしました。

ATW200の特徴
  • 3MHzの高速応答!圧電素子や高速振動現象の解析に最適!
  • ナノメートルオーダーの分解能!速度ではなく真の変位測定なので、低周波の微小変位も見逃しません!
  • 可変ローパスフィルタ付で、最適な応答速度と分解能が得られます。
  • 簡単セッティング!ワークに接近させて、一度だけ反射率補正を行うだけ!
測定原理

ATW200は、差動型の光ファイバー変位計! 弊社独自の差動型の光ファイバーのアレンジ(特許取得済み)により、測定ワークの反射率の影響を抑えながらも、ナノメートルオーダーの高分解能と3MHzの高速応答を実現しました。

ファイバーバンドルは、図1のように測定端に配置された投光ファイバー、受光ファイバーA、受光ファイバーBを反対側で、3又に分岐させてあります。投光ファイバーに、光源からの光を斜めに入射させると、測定端面から、図2のように光が射出し、測定面で反射して、受光ファイバーに入射します。この時、反射光はリング状になり、その径が測定ギャップに応じて変化し、受光ファイバーAとBに入射する光量PA,PBは、図3のように変化します。和信号のPA+PBは、全反射光量で、差信号PB-PAは、ギャップに応じて図4のように変化します。差信号を和信号で除した信号は、測定対象物の反射率に無関係となります(図5)。

アプリケーション例

圧電素子の振動測定、高速振動現象の解析、鏡面回転体の振れ測定、走査プローブ顕微鏡のプローブ変位測定等に最適です。

仕様

アンプユニット
型式 ATW200
方式 差動型光ファイバー方式
応答性(Hz)
設定応答周波数
100、1K、10K、100K、1M、PASS (3M)
可変倍率

1倍、2倍、5倍、10倍、20倍、50倍

表示 4 ・ 1/2桁デジタル電圧表示
アナログ出力 ±10VDC
電源電圧 AC 100V 50/60Hz または DC24V 1.2A
使用環境 0~45℃ 20~85%RH(結露なきこと)
 
プラグインモジュール
モジュールNo. ATP201 ATP202 ATP203
光源 SLD (スーパールミネッセントダイオード) (λ=830nm)
ファイバープローブ長 1m (標準)
先端プローブ外形 (mmφ) 1.2 3.0 1.2
プローブ先端耐熱温度* 0~150℃ 0~70℃ 0~150℃
測定スポット径 (mmφ) 約0.1 約0.5 約0.1
測定範囲 (μm) 約20 約300 約12
作動距離 (μm) 約80 約700 約50
基本感度 (μm/V) 約2 約30 約1.3
*精度を保証するものではありません。
 
分解能の例(測定対象物がブロックゲージの場合)
カットオフ周波数 ATP201
分解能(nmrms
ATP202
分解能(μmrms
ATP203
分解能(nmrms
3MHz 12nm 1.2μm 2.5nm
1MHz 7nm 1μm 2.3nm
100kHz 1.6nm 0.3μm 1.0nm
10kHz 0.7nm 0.2μm 0.5nm
1kHz 0.6nm 0.2μm 0.4nm
100Hz 0.5nm 0.2μm 0.3nm
分解能は、測定対象物の反射率に応じて変化します。

● ファイバープローブ長延長、先端曲げ加工など特注仕様のファイバープローブも製作可能です。ご相談ください。
● 上記特性は、平均的な数値を示しております。プローブ製作上のばらつきにより差異が生じることがあります

外形寸法

ご使用イメージ

測定対象物に測定プローブを近づけて反射率校正SWをONします。ディスプレイから数値が消え、校正モードになります。ディスプレイの指示に従って、測定ギャップを所定の範囲に合わせます。校正が終わると、自動的に測定モードに戻り、ディスプレイに数値が表示されます。反射率の条件は、内部に保存されますので、同じワークであれば、測定度のに校正の必要はありません。

測定プローブ先端部を測定対象物に近づけます。微動できるように微動ステージを設置することを推奨します。

ダウンロード

製品カタログ(PDF)
ATW200カタログ(1 MB)
取扱説明書(PDF)
外観図
DXF
(ZIP)
PDF
サポートツール
ソフトウェア
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