製品概要
プローブを測定箇所に近づけるだけで、高速微小変位の測定が可能です。
面倒なワークの反射率の補正は不要です。
プラグインモジュールATP203が新登場！応答性と分解能がさらにUPしました。
ATW200の特徴
- 3MHzの高速応答！圧電素子や高速振動現象の解析に最適！
- ナノメートルオーダーの分解能！速度ではなく真の変位測定なので、低周波の微小変位も見逃しません！
- 可変ローパスフィルタ付で、最適な応答速度と分解能が得られます。
- 簡単セッティング！ワークに接近させて、一度だけ反射率補正を行うだけ！
測定原理
ATW200は、差動型の光ファイバー変位計！ 弊社独自の差動型の光ファイバーのアレンジ（特許取得済み）により、測定ワークの反射率の影響を抑えながらも、ナノメートルオーダーの高分解能と3MHzの高速応答を実現しました。
ファイバーバンドルは、図１のように測定端に配置された投光ファイバー、受光ファイバーA、受光ファイバーBを反対側で、3又に分岐させてあります。投光ファイバーに、光源からの光を斜めに入射させると、測定端面から、図２のように光が射出し、測定面で反射して、受光ファイバーに入射します。この時、反射光はリング状になり、その径が測定ギャップに応じて変化し、受光ファイバーAとBに入射する光量PA,PBは、図3のように変化します。和信号のPA+PBは、全反射光量で、差信号PB-PAは、ギャップに応じて図４のように変化します。差信号を和信号で除した信号は、測定対象物の反射率に無関係となります（図５）。
アプリケーション例
圧電素子の振動測定、高速振動現象の解析、鏡面回転体の振れ測定、走査プローブ顕微鏡のプローブ変位測定等に最適です。
仕様
| アンプユニット | |
| 型式 | ATW200 |
|---|---|
| 方式 | 差動型光ファイバー方式 |
| 応答性(Hz) 設定応答周波数 |
100、1K、10K、100K、1M、PASS (3M) |
| 可変倍率 |
1倍、2倍、5倍、10倍、20倍、50倍 |
| 表示 | 4 ・ 1/2桁デジタル電圧表示 |
| アナログ出力 | ±10VDC |
| 電源電圧 | AC 100V 50/60Hz または DC24V 1.2A |
| 使用環境 | 0～45℃ 20～85％RH（結露なきこと） |
| プラグインモジュール | |||
| モジュールNo. | ATP201 | ATP202 | ATP203 |
|---|---|---|---|
| 光源 | SLD (スーパールミネッセントダイオード) (λ=830nm) | ||
| ファイバープローブ長 | 1m (標準) | ||
| 先端プローブ外形 (mmφ) | 1.2 | 3.0 | 1.2 |
| プローブ先端耐熱温度* | 0～150℃ | 0～70℃ | 0～150℃ |
| 測定スポット径 (mmφ) | 約0.1 | 約0.5 | 約0.1 |
| 測定範囲 (μm) | 約20 | 約300 | 約12 |
| 作動距離 (μm) | 約80 | 約700 | 約50 |
| 基本感度 (μm/V) | 約2 | 約30 | 約1.3 |
| *精度を保証するものではありません。 | |||
| 分解能の例（測定対象物がブロックゲージの場合） | |||
| カットオフ周波数 | ATP201 分解能（nmrms） | ATP202 分解能（μmrms） | ATP203 分解能（nmrms） |
|---|---|---|---|
| 3MHz | 12nm | 1.2μm | 2.5nm |
| 1MHz | 7nm | 1μm | 2.3nm |
| 100kHz | 1.6nm | 0.3μm | 1.0nm |
| 10kHz | 0.7nm | 0.2μm | 0.5nm |
| 1kHz | 0.6nm | 0.2μm | 0.4nm |
| 100Hz | 0.5nm | 0.2μm | 0.3nm |
| 分解能は、測定対象物の反射率に応じて変化します。 | |||
● ファイバープローブ長延長、先端曲げ加工など特注仕様のファイバープローブも製作可能です。ご相談ください。
● 上記特性は、平均的な数値を示しております。プローブ製作上のばらつきにより差異が生じることがあります
外形寸法
ご使用イメージ
測定対象物に測定プローブを近づけて反射率校正ＳＷをONします。ディスプレイから数値が消え、校正モードになります。ディスプレイの指示に従って、測定ギャップを所定の範囲に合わせます。校正が終わると、自動的に測定モードに戻り、ディスプレイに数値が表示されます。反射率の条件は、内部に保存されますので、同じワークであれば、測定度のに校正の必要はありません。
測定プローブ先端部を測定対象物に近づけます。微動できるように微動ステージを設置することを推奨します。
ダウンロード
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製品カタログ（PDF）
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ATW200カタログ(1 MB) | 日 | ||
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取扱説明書（PDF）
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外観図
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DXF
（ZIP） |
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PDF
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サポートツール
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ソフトウェア
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