製品概要
狭くて奥まった場所の変位を高速・高分解能で測定できます！
プローブを測定箇所に近づけるだけで、高速微小変位の測定が可能です。
面倒なワークの反射率の補正は不要です。
プラグインモジュールATP203が新登場！応答性と分解能がさらにUPしました。
ATW200の特徴
- 3 MHzの高速応答！圧電素子や高速振動現象の解析に最適
- ナノメートルオーダーの分解能！速度ではなく真の変位測定なので、低周波の微小変位も見逃しません
- 可変ローパスフィルタ付で、最適な応答速度と分解能が得られます
- 簡単セッティング！ワークに接近させて、一度だけ反射率補正を行うだけ
測定原理
ATW200は、差動型の光ファイバー変位計。 弊社独自の差動型の光ファイバーのアレンジ（特許取得済み）により、測定ワークの反射率の影響を抑えながらも、ナノメートルオーダーの高分解能と3 MHzの高速応答を実現
ファイバーバンドルは、図１のように測定端に配置された投光ファイバー、受光ファイバーA、受光ファイバーBを反対側で、3又に分岐させてあります。投光ファイバーに、光源からの光を斜めに入射させると、測定端面から、図２のように光が射出し、測定面で反射して、受光ファイバーに入射します。この時、反射光はリング状になり、その径が測定ギャップに応じて変化し、受光ファイバーAとBに入射する光量PA,PBは、図3のように変化します。和信号のPA+PBは、全反射光量で、差信号PB-PAは、ギャップに応じて図４のように変化します。差信号を和信号で除した信号は、測定対象物の反射率に無関係となります（図５）。
アプリケーション例
圧電素子の振動測定、高速振動現象の解析、鏡面回転体のぶれ測定、走査プローブ顕微鏡のプローブ変位測定などに最適
仕様
| アンプユニット | |
| 型式 | ATW200 |
|---|---|
| 方式 | 差動型光ファイバー方式 |
| 応答性(Hz) 設定応答周波数 |
100、1 K、10 K、100 K、1 M、PASS (3 M) |
| 可変倍率 |
1倍、2倍、5倍、10倍、20倍、50倍 |
| 表示 | 4 ・ 1/2桁デジタル電圧表示 |
| アナログ出力 | －10 ~ ＋10 V |
| 電源電圧 | DC 24 V 1.2 A ACアダプタ付属 (AC 100 〜 240 V 50/60 Hz) |
| 使用環境 | 温度：0 ～ ＋45℃ 湿度：＋85％ RH以下（結露不可） |
| プラグインモジュール | |||
| モジュールNo. | ATP201 | ATP202 | ATP203 |
|---|---|---|---|
| 光源 | SLD (スーパールミネッセントダイオード) (λ=830 nm) | ||
| ファイバープローブ長 | 1 m (標準) | ||
| 先端プローブ外径 | 1.2 mmφ | 3.0 mmφ | 1.2 mmφ |
| プローブ先端耐熱温度 | 0 ～ 150℃ | 0 ～ 70℃ | 0 ～ 150℃ |
| 測定スポット径 | 約 0.3 mmφ | 約 1.5 mmφ | 約 0.3 mmφ |
| 測定範囲 | 約 20 μm | 約 300 μm | 約 12 μm |
| 作動距離 | 約 80 μm | 約 700 μm | 約 50 μm |
| 基本感度 | 約 2 μm/V | 約 30 μm/V | 約 1.3 μm/V |
| プローブ先端耐熱温度は精度を保証するものではありません。 | |||
| 分解能の例（測定対象物がブロックゲージの場合） | |||
| カットオフ周波数 | ATP201 分解能 |
ATP202 分解能 |
ATP203 分解能 |
|---|---|---|---|
| 3 MHz | 12 nm rms | 1.2 μm rms | 2.5 nm rms |
| 1 MHz | 7 nm rms | 1 μm rms | 2.3 nm rms |
| 100 kHz | 1.6 nm rms | 0.3 μm rms | 1.0 nm rms |
| 10 kHz | 0.7 nm rms | 0.2 μm rms | 0.5 nm rms |
| 1 kHz | 0.6 nm rms | 0.2 μm rms | 0.4 nm rms |
| 100 Hz | 0.5 nm rms | 0.2 μm rms | 0.3 nm rms |
| 分解能は、測定対象物の反射率に応じて変化します。 | |||
● ファイバープローブ長延長、先端曲げ加工など特注仕様のファイバープローブも製作可能です。弊社営業までお問い合わせください。
● 上記特性は、平均的な数値を示しております。プローブ製作上のばらつきにより差異が生じることがあります
外形寸法
ご使用イメージ
測定対象物に測定プローブを近づけて反射率校正ＳＷをONします。ディスプレイから数値が消え、校正モードになります。ディスプレイの指示に従って、測定ギャップを所定の範囲に合わせます。校正が終わると、自動的に測定モードに戻り、ディスプレイに数値が表示されます。反射率の条件は、内部に保存されますので、同じワークであれば、測定度のに校正の必要はありません。
測定プローブ先端部を測定対象物に近づけます。微動できるように微動ステージを設置することを推奨します。
LED、蛍光表示管、液晶ディスプレイなどの表示機器は、製造の工程やロットによって微妙な色調のばらつきが生じる恐れがあります。予めご了承ください。
ダウンロード
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製品カタログ（PDF）
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ATW200カタログ(673 KB) | 日 | ||
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取扱説明書（PDF）
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外観図
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DXF
（ZIP） |
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PDF
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サポートツール
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ソフトウェア
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