静電容量方式

PS-IA-HS

* 標準測定レンジ30μm~1000μmの幅広いラインアップ

* 導体であれば材質により感度が変わらない

* 表面粗さの影響を受けない

* 高い直線性:±0.05%以下

* 応答速度5kHz

PS-IA

* 標準測定レンジ30μm~1000μmの幅広いラインアップ

* 導体であれば材質により感度が変わらない

* 表面粗さの影響を受けない

* 高い直線性:±0.05%以下

* 低ノイズ:0.002%/FS(rms)以下

* 応答速度1kHz

DT-10

■ JIS B 6190-3:2014に準拠したシステム

■ 環境温度変動誤差(ETVE)試験、主軸の回転に よる熱変形の測定可能

■ 長時間の試験を非接触で安定に測定可能な静電容量式変位計を採用

■ 渦電流式変位計によるシステム対応、用途に応じ、測定チャンネル数の変更可能

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