マルチチャンネルPSセンサ PS-Ⅲ

製品概要

PSセンサは、独自の技術による静電容量方式を採用し、高安定・高分解能・汎用性を実現した超精密非接触変位計です。変位・振動・形状・位置検出など幅広い分野に用いられ、コストパフォーマンスを追求した汎用性変位計として高い評価を得ております。また、地球環境の影響を考慮し、いずれの製品も鉛フリー・RoHS指令に対応しております。PS-Ⅲシリーズは、複数チャンネルを１台の筐体にまとめ、AC 100 Vで動作し、各種機能を盛り込んだPSセンサシリーズの決定版です。研究開発用途のみならずシステムへの組込みも可能です。

測定原理

PSセンサは、下図のように平行平板コンデンサの原理に基づいています。中心電極とターゲット間の静電容量をC、プローブとターゲット間の誘導率をε、距離をg、中心電極面積をAとするとその関係は

の計算式で表すことができます。これを下図のような交流定電流源駆動を行うことにより、出力電圧は

となり、出力は測定ギャップに比例します。

PSセンサでは、ガード電極を中心電極と同電位となるようにドライブすることにより、中心電極部分で平行電場を作り、高い直線性を得ています。

アプリケーション

仕様

アンプ仕様｜型式構成｜標準円筒型プローブ仕様｜標準角フランジ型プローブ仕様

ワンタッチで出力をゼロにするリセット機能、NEAR/FAR LED表示機、マルチチャンネル動作機能など、これ一台で様々な用途への応用が可能です。

アンプ仕様
型式	PS-Ⅲ	PS-Ⅲ(B) （オプション）	PS-Ⅲ-HS	PS-Ⅲ-HS(B) （オプション）
基本出力電圧範囲	0 ～ 10 V	－5 ～＋5 V	0 ～ 10 V	－5 ～＋5 V
出力端子	BNCコネクタ
応答周波数特性（≧-3 dB）	DC ～ 1 kHz		DC ～ 5 kHz
使用温度範囲	10 ～ 40℃
外形寸法	257(W)×159(H)×271(D) mm
電源	AC 100 ～ 240 V ±10%　50/60 Hz

LED、蛍光表示管、液晶ディスプレイなどの表示機器は、製造の工程やロットによって微妙な色調のばらつきが生じる恐れがあります。予めご了承ください。

型式構成

応答周波数特性DC ～ 5 kHz, チャンネル数 4, 表示器あり, 出力電圧範囲－5 ～＋5 V
（空きスロットにはブランクパネルが付きます）

標準円筒型プローブ仕様

プローブ内部には電子回路を含まないため、コンパクトなプローブにすることができる
真空対応など、特注対応も可能

» 型式：△X□□-30 ～ △X□□-100
» 型式：△Y□□-50 ～ △Y□□-500
» 型式：△Z□□-500 ～ △T□□-5000

型式	△X□□-30	△X□□-50	△X□□-100
外径	4 mm
ターゲット最小直径	4 mm
オフセット	10 μm
測定レンジ	30 μm	50 μm	100 μm
分解能 (PS-Ⅲ)	0.6 nm rms	1 nm rms	2 nm rms
分解能 (PS-Ⅲ-HS)	3 nm rms	4 nm rms	8 nm rms
直線性	±0.05%
プローブ長	5 mm(受注生産品), 10 mm, 30 mm
ケーブル長	標準2 m

型式	△Y□□-50	△Y□□-100	△Y□□-250	△Y□□-500
外径	6 mm
ターゲット最小直径	6 mm
オフセット	10 μm		25 μm	50 μm
測定レンジ	50 μm	100 μm	250 μm	500 μm
分解能 (PS-Ⅲ)	1 nm rms	2 nm rms	5 nm rms	15 nm rms 仕様変更しました
分解能 (PS-Ⅲ-HS)	4 nm rms	8 nm rms	20 nm rms	60 nm rms 仕様変更しました
直線性	±0.05%			±0.1%
プローブ長	5 mm(受注生産品), 10 mm, 30 mm
ケーブル長	標準2 m

型式	△Z□□-500	△Z□□-1000	△T□□-3000	△T□□-5000
外径	12 mm		30 mm
ターゲット最小直径	11 mm		28 mm
オフセット	50 μm	100 μm	300 μm	500 μm
測定レンジ	500 μm	1000 μm	3000 μm	5000 μm
分解能 (PS-Ⅲ)	10 nm rms	20 nm rms	60 nm rms	120 nm rms 仕様変更しました
分解能 (PS-Ⅲ-HS)	40 nm rms	80 nm rms	240 nm rms 仕様変更しました	480 nm rms 仕様変更しました
直線性	±0.0%	±0.1%	±0.1% 仕様変更しました	±0.3% 仕様変更しました
プローブ長	10 mm, 30 mm		15 mm, 30 mm
ケーブル長	標準2 m

表中の△はケーブル出しのタイプ、□□はプローブ長（mm）

標準角フランジ型プローブ仕様

» 型式：FK4006-500 ～ FN4006-2000
» 型式：FT4006-3000 ～ FU5006-10000

型式	FK4006-500	FK4006-1000	FN4006-1000	FN4006-2000
測定部径	15 mm		19 mm
ターゲット最小直径	15 mm		18 mm
オフセット	50 μm	100 μm	100 μm	200 μm
測定レンジ	500 μm	1000 μm	1000 μm	2000 μm
分解能 (PS-Ⅲ)	10 nm rms	20 nm rms	20 nm rms	40 nm rms
分解能 (PS-Ⅲ-HS)	40 nm rms	80 nm rms	80 nm rms	160 nm rms
直線性	±0.05%
ケーブル長	標準2 m

型式	FT4006-3000	FT4006-5000	FU5006-5000	FU5006 -10000
測定部径	29 mm		39 mm
ターゲット最小直径	28 mm		38 mm
オフセット	300 μm	500 μm	500 μm	1000 μm
測定レンジ	3000 μm	5000 μm	5000 μm	10000 μm
分解能 (PS-Ⅲ)	60 nm rms	120 nm rms	100 nm rms	300 nm rms
分解能 (PS-Ⅲ-HS)	240 nm rms	480 nm rms	400 nm rms	1200 nm rms
直線性	±0.1%	±0.3%	±0.1%	±1.0%
ケーブル長	標準2 m

ダウンロード

製品カタログ（PDF）		PS-IAシリーズカタログ(770 KB)	日
取扱説明書（PDF）		PS-IIIマニュアル(2 MB)	日
外観図	DXF （ZIP）
外観図	PDF
サポートツール
ソフトウェア

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PS-Ⅲ