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製品概要

PSセンサは、独自の技術による静電容量方式を採用し、高安定・高分解能・汎用性を実現した超精密非接触変位計です。変位・振動・形状・位置検出など幅広い分野に用いられ、コストパフォーマンスを追求した汎用性変位計として高い評価を得ております。また、地球環境の影響を考慮し、いずれの製品も鉛フリー・RoHS指令に対応しております。PS-Ⅲシリーズは、複数チャンネルを1台の筐体にまとめ、AC 100 Vで動作し、各種機能を盛り込んだPSセンサシリーズの決定版です。研究開発用途のみならずシステムへの組込みも可能です。

測定原理

PSセンサは、下図のように平行平板コンデンサの原理に基づいています。中心電極とターゲット間の静電容量をC、プローブとターゲット間の誘導率をε、距離をg、中心電極面積をAとするとその関係は

の計算式で表すことができます。これを下図のような交流定電流源駆動を行うことにより、出力電圧は

となり、出力は測定ギャップに比例します。

PSセンサでは、ガード電極を中心電極と同電位となるようにドライブすることにより、中心電極部分で平行電場を作り、高い直線性を得ています。

アプリケーション

仕様

ワンタッチで出力をゼロにするリセット機能、NEAR/FAR LED表示機、マルチチャンネル動作機能など、これ一台で様々な用途への応用が可能です。

アンプ仕様
型式 PS-Ⅲ
基本出力電圧範囲 0 ~ 10 V
出力端子 BNCコネクタ
応答周波数特性(≧-3 dB) DC ~ 1 kHz
使用温度範囲 10 ~ 40℃
電源 AC 100 ~ 240 V ±10% 50/60 Hz
 

プローブ内部には電子回路を含まないため、コンパクトなプローブにすることができます。真空対応など、特注対応も可能です。

型式 外径(mm) オフセット(μm) レンジ(μm) 分解能(nmrms) 直線性(%) プローブ長(mm) ケーブル長(m)
△X□□-30 4 10 30 0.6 ±0.05

5

10

30

2(標準)

△X□□-50 10 50 1
△X□□-100 10 100 2
△Y□□-50 6 10 50 1
△Y□□-100 10 100 2
△Y□□-250 25 250 5
△Y□□-500 50 500 10 ±0.1
△Z□□-500 12 50 500 10 ±0.05

10

30

△Z□□-1000 100 1000 20 ±0.1
△T□□-3000 30 300 3000 60 ±0.05

15

30

△T□□-5000 500 5000 100 ±0.2

表中の△はケーブル出しのタイプ、□□はプローブ長(mm)

型式構成

外形寸法
型式 PS-Ⅲ-2D
(2CH)
PS-Ⅲ-3D
(3CH)
PS-Ⅲ-4D
(4CH)
PS-Ⅲ-2N
(2CH)
PS-Ⅲ-3N
(3CH)
PS-Ⅲ-4N
(4CH)
PS-Ⅲ-5N
(5CH)
PS-Ⅲ-6N
(6CH)
出力端子 BNC×2 BNC×3 BNC×4 BNC×2 BNC×3 BNC×4 BNC×5 BNC×6
寸法(mm)
257W×152H×271D
表示器
あり
なし
 


PS-Ⅲの型式は以下のように決定します。
アンプ形式 チャンネル数 表示器の有無
PS-Ⅲ 2以上 表示器有り・・・D
表示器なし・・・N




LED、蛍光表示管、液晶ディスプレイなどの表示機器は、製造の工程やロットによって微妙な色調のバラツキが生じる恐れがあります。予めご了承をお願いいたします。



ダウンロード

製品カタログ(PDF)
取扱説明書(PDF)
PS-IIIマニュアル(2 MB)
外観図
DXF
(ZIP)
PDF
サポートツール
ソフトウェア
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