製品概要
PSセンサは、独自の技術による静電容量方式を採用し、高安定・高分解能・汎用性を実現した超精密非接触変位計です。変位・振動・形状・位置検出など幅広い分野に用いられ、コストパフォーマンスを追求した汎用性変位計として高い評価を得ております。
また、地球環境の影響を考慮し、いずれの製品も鉛フリー・RoHS指令に対応しております。
PS-Ⅲシリーズは、複数チャンネルを１台の筐体にまとめ、AC１００Vで動作し、各種機能を盛り込んだPSセンサシリーズの決定版です。研究開発用途のみならずシステムへの組込みも可能です。
また、地球環境の影響を考慮し、いずれの製品も鉛フリー・RoHS指令に対応しております。
PS-Ⅲシリーズは、複数チャンネルを１台の筐体にまとめ、AC１００Vで動作し、各種機能を盛り込んだPSセンサシリーズの決定版です。研究開発用途のみならずシステムへの組込みも可能です。
測定原理
PSセンサは、下図のように平行平板コンデンサの原理に基づいています。中心電極とターゲット間の静電容量をC、プローブとターゲット間の誘導率をε、距離をg、中心電極面積をAとするとその関係は
の計算式で表すことができます。これを下図のような交流定電流源駆動を行うことにより、出力電圧は
となり、出力は測定ギャップに比例します。
PSセンサでは、ガード電極を中心電極と同電位となるようにドライブすることにより、中心電極部分で平行電場を作り、高い直線性を得ています。
アプリケーション
仕様
ワンタッチで出力をゼロにするリセット機能、NEAR/FAR LED表示機、マルチチャンネル動作機能など、これ一台で様々な用途への応用が可能です。
| アンプ仕様 | |
| 型式 | PS-Ⅲ |
|---|---|
| 基本出力電圧範囲 | 0～10V |
| 出力端子 | BNCコネクタ |
| 周波数特性 | DC～1kHz |
| 使用温度範囲 | 10～40℃ |
| 電源 | AC100V（付属のACアダプタ使用） |
表中の□□にはヘッド長さ（mm）が入ります。
| 型式 | 外径（mm） | オフセット（μm） | レンジ（μm） | 分解能（nmrms） | 直線性（%） | プローブ長（mm） | ケーブル長（m） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| AX□□-30 | 4 | 10 | 30 | 0.6 | ±0.05 |
5 10 30 |
2（標準） |
| AX□□-50 | 10 | 50 | 1.0 | ||||
| AX□□-100 | 10 | 100 | 2.0 | ||||
| AY□□-50 | 6 | 10 | 50 | 1.0 | |||
| AY□□-100 | 10 | 100 | 2.0 | ||||
| AY□□-250 | 25 | 250 | 5.0 | ||||
| AY□□-500 | 50 | 500 | 10 | ±0.1 | |||
| AZ□□-500 | 12 | 50 | 500 | 10 | ±0.05 |
10 30 |
|
| AZ□□-1000 | 100 | 1000 | 20 | ±0.1 |
型式構成例
| 外形寸法 | ||||
| 型式 | PS-Ⅲ-3N | PS-Ⅲ-2D | PS-Ⅲ-5N | PS-Ⅲ-4D |
|---|---|---|---|---|
| 出力端子 | BNC×3 | BNC×2 | BNC×5 | BNC×4 |
| 寸法(mm) | 186W×152H×331D | 257W×152H×271D | ||
| 表示器 | なし | あり | なし | あり |
| PS-Ⅲの型式は以下のように決定します。 | ||||
| アンプ形式 | チャンネル数 | 表示器の有無 | ||
|---|---|---|---|---|
| PS-Ⅲ | 2以上 | 表示器有り・・・D | ||
| 表示器なし・・・N | ||||
| 4チャンネル表示器付きの場合 | ||||
| PS-Ⅲ | – | 4 | D | |
