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製品概要

PS-IAは、独自の技術による静電容量方式を採用し、高安定・高分解能・汎用性を実現した超精密非接触変位計です。変位・振動・形状・位置検出など幅広い分野に用いられ、コストパフォーマンスを追求した汎用性変位計として高い評価を得ております。
また、地球環境の影響を考慮し、いずれの製品も鉛フリー・RoHS2指令に対応しております。
研究開発分野から半導体関連装置・電子機器への組み込みなど、応用性のある高性能ツールとして多くの実績を重ねております。


静電容量型非接触変位計　PS-IA　製品紹介動画

アプリケーション例

特長

DC 24 VまたはAC 100 Vで動作し、出力ゼロリセット機能、NEAR/FAR LED表示器、BNCアナログ出力のついたシングルチャンネルのアンプです。コンパクトでありながら多機能なシステムであり、研究開発用途から各種装置への組み込みなど、様々な用途に御使用いただけます。

  • ● 標準測定レンジ30 ～ 10000 μmの幅広いラインアップ
  • ● 導体であれば材質により感度が変わらない
  • ● 表面粗さの影響を受けない
  • ● 高い直線性：±0.05％ 以下
  • ● 低ノイズ：0.002％ FS（rms） 以下
  • ● 1 kHzの応答速度
  • ● 超高真空や高温700℃対応も可能　弊社営業までお問い合わせください。
特注プローブ対応例


上記は一例です。用途に応じた特注対応いたします。

測定原理

PSセンサは、下図のように平行平板コンデンサの原理に基づいています。中心電極とターゲット間の静電容量をC、プローブとターゲット間の誘導率をε、距離をg、中心電極面積をAとするとその関係は

の計算式で表すことができます。これを下図のような交流定電流源駆動を行うことにより、出力電圧は

となり、出力は測定ギャップに比例します。

PSセンサでは、ガード電極を中心電極と同電位となるようにドライブすることにより、中心電極部分で平行電場を作り、高い直線性を得ています。

PS-IAを特集した過去のメールマガジンはこちら


仕様

｜標準円筒型プローブ仕様｜標準角フランジ型プローブ仕様｜アンプ仕様｜

標準円筒型プローブ仕様

プローブ内部には電子回路を含まないため、コンパクトなプローブにすることができる
真空や高温など、特注対応も可能

 

 
型式 △X□□-30 △X□□-50 △X□□-100
外径 4 mm
ターゲット
最小直径		 4 mm
オフセット 10 μm
測定レンジ 30 μm 50 μm 100 μm
分解能
(PS-IA)		 0.6 nm rms 1 nm rms 2 nm rms
直線性 ±0.05%
プローブ長 5 mm(受注生産品), 10 mm, 30 mm
ケーブル長 標準2 m
 
型式 △Y□□-50 △Y□□-100 △Y□□-250 △Y□□-500
外径 6 mm
ターゲット
最小直径		 6 mm
オフセット 10 μm 25 μm 50 μm
測定レンジ 50 μm 100 μm 250 μm 500 μm
分解能
(PS-IA)		 1 nm rms 2 nm rms 5 nm rms 15 nm rms
仕様変更しました
直線性 ±0.05% ±0.1%
プローブ長 5 mm(受注生産品), 10 mm, 30 mm
ケーブル長 標準2 m
 
型式 △Z□□-500 △Z□□-1000 △T□□-3000 △T□□-5000
外径 12 mm 30 mm
ターゲット
最小直径		 11 mm 28 mm
オフセット 50 μm 100 μm 300 μm 500 μm
測定レンジ 500 μm 1000 μm 3000 μm 5000 μm
分解能
(PS-IA)		 10 nm rms 20 nm rms 60 nm rms 120 nm rms
仕様変更しました
直線性 ±0.05% ±0.1% ±0.1%
仕様変更しました		 ±0.3%
仕様変更しました
プローブ長 10 mm, 30 mm 15 mm, 30 mm
ケーブル長 標準2 m

表中の△はケーブル出しのタイプ、□□はプローブ長（mm）

標準角フランジ型プローブ仕様
型式 FY1506-30 FY1506-50 FY1506-100 FY1506-250
測定部径 5 mm
ターゲット
最小直径		 4.4 mm
オフセット 15 μm 15 μm 15 μm 25 μm
測定レンジ 30 μm 50 μm 100 μm 250 μm
分解能
(PS-IA)		 0.6 nm rms 1 nm rms 2 nm rms 5 nm rms
直線性 ±0.05%
ケーブル長 標準2 m
 
型式 FE1506-100 FE1506-250 FE1506-500 FE1506-750
測定部径 7 mm
ターゲット
最小直径		 6.2 mm
オフセット 20 μm 25 μm 50 μm 75 μm
測定レンジ 100 μm 250 μm 500 μm 750 μm
分解能
(PS-IA)		 2 nm rms 5 nm rms 15 nm rms 30 nm rms
直線性 ±0.05% ±0.1%
ケーブル長 標準2 m
 
型式 FZ2006-500 FZ2006-750 FZ2006-1000 FZ2006-1500
測定部径 11 mm
ターゲット
最小直径		 10.4 mm
オフセット 50 μm 75 μm 100 μm 150 μm
測定レンジ 500 μm 750 μm 1000 μm 1500 μm
分解能
(PS-IA)		 10 nm rms 15 nm rms 35 nm rms 60 nm rms
直線性 ±0.05% ±0.1%
ケーブル長 標準2 m
 
型式 FK4006-500 FK4006-1000 FN4006-1000 FN4006-2000
測定部径 15 mm 19 mm
ターゲット
最小直径		 15 mm 18 mm
オフセット 50 μm 100 μm 100 μm 200 μm
測定レンジ 500 μm 1000 μm 1000 μm 2000 μm
分解能
(PS-IA)		 10 nm rms 20 nm rms 20 nm rms 40 nm rms
直線性 ±0.05%
ケーブル長 標準2 m
 
型式 FT4006-3000 FT4006-5000 FU5006-5000 FU5006
-10000
測定部径 29 mm 39 mm
ターゲット
最小直径		 28 mm 38 mm
オフセット 300 μm 500 μm 500 μm 1000 μm
測定レンジ 3000 μm 5000 μm 5000 μm 10000 μm
分解能
(PS-IA)		 60 nm rms 120 nm rms 100 nm rms 300 nm rms
直線性 ±0.1% ±0.3% ±0.1% ±1.0%
ケーブル長 標準2 m
 

■　アンプ仕様

ワンタッチで出力を0 Vにシフトさせる出力オフセット機能
NEAR/FAR LED表示など、一台で様々な用途への応用が可能

型式 PS-IA PS-IA（B）（オプション）
基本出力電圧範囲 0 ～ 10 V −5 ～ +5 V
出力端子 BNCコネクタ
応答周波数特性
（≧-3 dB）		 DC ～ 1 kHz
使用温度範囲 ＋10 ～ ＋40℃
電源 AC 100 ~ 240 V(±10%)(フリー電源 50/60 Hz)
DC 24 V 0.5 A (DC電源は注文時指定)
外形寸法 110W×30H×162D mm
重量 360 g（本体のみ）

LED、蛍光表示管、液晶ディスプレイなどの表示機器は、製造の工程やロットによって微妙な色調のばらつきが生じる恐れがあります。予めご了承ください。

ダウンロード

製品カタログ（PDF）
 PS-IAシリーズ カタログ(673 KB) 日
取扱説明書（PDF）
 PS-IA/PS-IA-HSマニュアル(2 MB) 日
外観図
DXF
（ZIP）
PDF
サポートツール
ソフトウェア
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