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製品概要

半導体製造装置への組み込みに最適!
シリコーンフリーロードセル

半導体製造現場ではシリコーン樹脂から発生するシロキサンを発生しない機器が必須となっています。
UWRはビーム型のロードセルです。
シリコンウェハ周辺での用途に考慮し塩素ガスの発生しないテフロンシースケーブルを使用しています。

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仕様

型式 UWR-10N
定格容量 10 N
定格出力 約 0.5 mV/V
許容過負荷 300% R.C.
ゼロバランス ±20% R.O.
非直線性 0.03% R.O.
ヒステリシス 0.03% R.O.
繰返し性 0.02% R.O.
補償温度範囲 0 〜 +50℃
許容温度範囲 −10 〜 +70℃
零点の温度影響 0.5% R.O./10℃
出力の温度影響 0.2% R.O./10℃
入力端子間抵抗 約 1000 Ω
出力端子間抵抗 約 1000 Ω
推奨印加電圧 5 V
絶縁抵抗(DC 50 V) 1000 MΩ 以上
ケーブル φ2 4芯シールド テフロンシースケーブル 3 m 先端柳線
定格負荷での
たわみ
0.04 mm
固有振動数 2.5 kHz
重量 約 40 g (ケーブル含まず)
ロードセル材質 アルミニウム合金
使用例・配線図
使用例
配線図

外形寸法

外観寸法

ダウンロード

製品カタログ(PDF)
UWR カタログ(1 MB)
取扱説明書(PDF)
UWRマニュアル(2 MB)
2D外観図
DXF
(ZIP)
PDF
3D外観図
STEP
(ZIP)
サポートツール
ソフトウェア
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